HMDS烘箱預(yù)處理系統(tǒng)操作流程
1、首先確定烘箱工作溫度；
2、預(yù)處理程序為：打開真空泵抽真空，待腔內(nèi)真牢度達(dá)到某一高真空度后，開始充入氮氣，充到達(dá)到某低真空度后，再次進行抽真空、充入氮氣的過程，到達(dá)設(shè)定的充入氮氣次數(shù)后，開始保持一段時間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分;
3、再次開始抽真空，充入HMDS氣體，在到達(dá)設(shè)定時間后，停止充入HMDS藥液，進入保持階段，使硅片充分與HMDS反應(yīng);
4、當(dāng)達(dá)到設(shè)定的保持時間后，再次開始抽真空。充入氮氣，完成整個作業(yè)過程。
北京中科博達(dá)儀器科技有限公司
北京中科博達(dá)儀器科技有限公司 版權(quán)所有 企業(yè)郵箱 ICP備案號:京ICP備15032943號-1
管理登陸 總流量：486698 網(wǎng)站地圖 技術(shù)支持：中國化工儀器網(wǎng)
